[发明专利]一种氦检模块化真空箱设备

摘要

本发明涉及一种氦检模块化真空箱设备，包括机柜和真空箱，所述机柜顶部设置有顶架，所述真空箱位于机柜的台面上，并且真空箱包括下箱体和上箱罩，所述上箱罩通过铰链与下箱体活动连接；还包括翻转驱动气缸和升降侧滑机构；所述真空箱与机柜的台面可拆卸式连接；所述翻转驱动气缸与机柜的台面活动连接，并且翻转驱动气缸的活塞杆与上箱罩侧面的顶轴铰接；所述升降侧滑机构位于机柜内部并且与真空箱的上下位置相对应。本发明的真空箱采用模块化设计，使真空箱可相对于设备整体进行装卸、更换，可根据稍大尺寸的待检测工件更换大尺寸的真空箱，增强通用性和适应性，无需采购多款氦检设备，节省设备成本；便于车间起重机吊装。