[发明专利]一种自驱动薄膜光电探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种自驱动薄膜光电探测器及其制备方法，方法包括步骤：提供衬底；在衬底上形成铜锌锡硫前驱体膜，对铜锌锡硫前驱体膜进行过饱和硒化处理，得到铜锌锡硫硒吸收层；采用化学水浴法在铜锌锡硫硒吸收层上沉积硫化镉缓冲层；采用磁控溅射法在硫化镉缓冲层上沉积氧化铟锡窗口层，热蒸发银电极，得到自驱动薄膜光电探测器。本发明通过采用溶液旋涂法和过饱和硒化处理制得了微米级晶粒紧密堆积且高载流子迁移率方向择优取向生长的高质量铜锌锡硫硒吸收层薄膜，并且由于铜锌锡硫硒吸收层薄膜具有择优取向的原子排列，减少了铜和锌的反位缺陷，使得深能级缺陷密度明显降低，复合中心较浅，有利于减少光生载流子复合，提升载流子寿命。