[发明专利]二极管及其制备方法在审
申请号: | 202211275332.1 | 申请日: | 2022-10-18 |
公开(公告)号: | CN115692511A | 公开(公告)日: | 2023-02-03 |
发明(设计)人: | 魏楠;张新玥;司佳;王颖;彭练矛 | 申请(专利权)人: | 北京大学;北京元芯碳基集成电路研究院;北京华碳元芯电子科技有限责任公司 |
主分类号: | H01L29/861 | 分类号: | H01L29/861;H01L21/329 |
代理公司: | 北京庚致知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11807 | 代理人: | 李伟波 |
地址: | 100871*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本公开提供了一种基底;至少一个第一电极,第一电极形成于基底之上;至少一个第二电极,第二电极形成于基底之上,且与第一电极间隔开;以及半导体沟道层,至少设置在第一电极和第二电极之间,其中,沟道层形成有第一类型掺杂区和第二类型掺杂区。本公开还提供了一种二极管的制备方法。 | ||
搜索关键词: | 二极管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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