[发明专利]一种旋转靶材解绑设备在审
| 申请号： | 202211279015.7 | 申请日： | 2022-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN115572951A | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 王振宏;王志强;曾探 | 申请（专利权）人： | 芜湖映日科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 杨静 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市(安徽)自由*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种旋转靶材解绑设备，属于靶材技术领域，包括底板和第一竖板，底板和第一竖板连接在一起，底板和第一竖板相互垂直并形成L形；底板顶面上设置有滑轨，滑轨上设有与其滑动配合的滑台支架，滑台支架上设置用于固定靶材一端的第一夹紧转轴，第一夹紧转轴远离靶材的一端设置用于控制第一夹紧转轴旋转的第一电机；第一竖板顶面的中心处设置用于固定靶材的另一端的第二夹紧转轴，靶材置于第一夹紧转轴与第二夹紧转轴之间，旋转靶材的下端设置有加热器，加热器与底板之间设置有用于控制加热器升降的支撑缸。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 靶材解绑 设备 | ||
【主权项】：
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