[发明专利]一种柔性碳膜掩膜

摘要

本发明提供了一种柔性碳膜掩膜，所述柔性碳膜掩膜为石墨烯、石墨、碳纳米管、碳纳米材料、金属纳米材料、金属或非金属氧化物纳米材料、有机前驱体碳化膜、碳纤维中的任意一种或多种组成的薄膜，且所述薄膜上带有掩膜图案；其厚度可调性高，可调范围大，且具有很高的易加工性，其上可以制出各种形状的小至纳米尺寸的精细图案，其热传导性好、耐高温、强度大，可通过分子间作用吸附贴合在器件表面，覆盖和揭下都非常容易且不会对器件造成损伤。