[发明专利]晶圆检测用数据处理系统、处理方法和晶圆检测设备在审
| 申请号： | 202211285861.X | 申请日： | 2022-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN115541614A | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 王传民;杨勇刚;谷孝东;曹葵康;朱怡 | 申请（专利权）人： | 苏州天准科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;H04L67/1097;H04L67/1095 |
| 代理公司： | 北京千壹知识产权代理事务所(普通合伙) 11940 | 代理人： | 王玉玲 |
| 地址： | 215153 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种晶圆检测用数据处理系统、处理方法和晶圆检测设备，属于半导体领域，数据处理系统包括图像采集模块、数据采集模块、数据调度同步管理模块、数据分发模块、数据处理模块和数据输出模块；系统的网络包括通信网络和图像传输网络两个专用网络，提高整个系统的灵活性，分别用于各模块间的通信传输和图像传输，IB网络的拥塞并不会影响整个系统正常的通信以及调度；数据采集模块和数据处理模块解耦；本方案可有效降低数据的传输频率以及总的数据传输量、降低图片采集服务器的CPU负载，分布式的数据消费模式加快数据的消费速度，提高整体检测速度；可在半导体晶圆等高精度大数据处理的领域中推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 数据处理系统 处理 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州天准科技股份有限公司，未经苏州天准科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211285861.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
