[发明专利]一种体声波谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 202211285984.3 | 申请日： | 2022-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN115622526A | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 万晨庚 | 申请（专利权）人： | 北京芯溪半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京清辰科创知识产权代理事务所(普通合伙) 16133 | 代理人： | 彭一波 |
| 地址： | 100089 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开实施例中提供了一种体声波谐振器及其制备方法，该体声波谐振器包括：衬底，所述衬底包括空腔；底电极，形成在所述衬底上方，并覆盖所述空腔；压电功能层，形成在所述底电极上方；框架结构，形成在所述压电功能层上方；以及顶电极，形成在所述框架结构上方，其中，所述框架结构的厚度是非均匀的。通过本公开的处理方案，在限制能量的横向泄露的同时改善了谐振器在连接边处的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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