[发明专利]一种超薄碳化硅纳米片的制备方法在审
申请号: | 202211290004.9 | 申请日: | 2022-10-21 |
公开(公告)号: | CN115744908A | 公开(公告)日: | 2023-03-07 |
发明(设计)人: | 郭林;赵赫威;汪少雄 | 申请(专利权)人: | 北京航空航天大学 |
主分类号: | C01B32/977 | 分类号: | C01B32/977;B82Y30/00;B82Y40/00 |
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地址: | 100191*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及材料领域,主要涉及一种超薄碳化硅纳米片的制备方法。通过以诸如石墨烯、还原氧化石墨烯、氧化石墨烯等片状材料为模板,以聚乙烯吡咯烷酮为表面活性剂,让碳化硅前驱体聚碳硅烷在常温下沿着模板生长,并在惰性气氛中高温煅烧将前驱体转化为碳化硅,在空气气氛中高温去除模板即可获得厚度可调的超薄碳化硅纳米片。我们所制备的碳化硅纳米片经原子力显微镜测出其杨氏模量超过2TPa,强度超过45GPa,应变超过5%,其在微电子元件、微观力学,指导几乎无缺陷碳化硅的制备等方面有着很大的潜在应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 超薄 碳化硅 纳米 制备 方法 | ||
【主权项】:
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