[发明专利]一种膜层厚度表征方法在审
| 申请号： | 202211291417.9 | 申请日： | 2022-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN115508387A | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 吕淼;叶红波;吴大海;朱子轩;苟元华 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04;G01N23/20091 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 张磊 |
| 地址： | 201800 上海市嘉定*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种膜层厚度表征方法，包括：提供一具有多个膜层叠层的测试样品；获取各所述膜层的电子能量损失谱，依据所述电子能量损失谱中各所述膜层的强度信号，得到能量损失区间；在透射电子显微镜的能量过滤模式下，选取所述能量损失区间中的能量损失值作为参数进行输入，得到各所述膜层的表征图像，确定目标膜层的厚度。本发明能够提高能量分辨率，避免由于元素分布界限不清淅导致的测量误差，从而实现通过输出的各膜层表征图像，准确测量各膜层厚度的目的，同时具有数据处理及操作较简单的优点，易于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 厚度 表征 方法 | ||
【主权项】：
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