[发明专利]一种脆性金属靶材的去应力整形方法在审

专利信息
申请号: 202211294592.3 申请日: 2022-10-21
公开(公告)号: CN115519004A 公开(公告)日: 2022-12-27
发明(设计)人: 姚力军;潘杰;周友平;廖培君;沈学峰;杨杰 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
主分类号: B21D3/10 分类号: B21D3/10;B21D37/00
代理公司: 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 代理人: 徐浩
地址: 315400 浙江省宁波市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及了一种脆性金属靶材的去应力整形方法,所述去应力整形方法包括:在靶材组件的靶材上表面设置垫块,然后对靶材组件进行四次整形;所述四次整形过程中垫块的直径逐次增大。本发明通过采用直径逐次增大的垫块结合相应的压力进行整形,对靶材进行多梯度整形,保证靶材平面度<0.1mm,且不出现扭曲变形、塌边现象;多次整形利于内部残留焊接应力进行释放,控制产品在后续加工过程中的变形量,提高产品良率。
搜索关键词: 一种 脆性 金属 应力 整形 方法
【主权项】:
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