[发明专利]一站式多功能光罩和基板转移设备和方法有效
| 申请号： | 202211306385.5 | 申请日： | 2022-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN115367464B | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 谢彤彤;查思豪;刘玉新;徐雪峰;郭欣蕾;王兆山 | 申请（专利权）人： | 泉意光罩光电科技（济南）有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90;B65G47/248;B65G43/08;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 梁晓婷 |
| 地址： | 250000 山东省济南市高新区经十路7*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明的实施例提供了一种一站式多功能光罩和基板转移设备和方法，涉及半导体技术领域。一站式多功能光罩转移设备包括密闭室、五片盒和视觉手臂组，五片盒放置在密闭室中，五片盒的卡槽内安装有重力感应器，重力感应器用于在基板装入卡槽后发出位置及可载入基板物料讯息；视觉手臂组安装在密闭室中，视觉手臂组用于根据位置讯息从五片盒中夹取基板，视觉手臂组上设置有视觉辅助抓取相机，视觉辅助抓取相机用于判断光罩或基板的正面或反面、并发出正反面判定讯息，视觉手臂组根据预设需求和正反面判定讯息带动光罩或基板翻转至正面朝上或反面朝上。该装置能够从五片盒中自动抓取基板、并自动将光罩或基板翻转到位，而且污染风险小。 | ||
| 搜索关键词： | 一站式 多功能 转移 设备 方法 | ||
【主权项】：
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