[发明专利]铜表面晶花的细化方法、腐蚀液组合及其应用有效
| 申请号： | 202211317254.7 | 申请日： | 2022-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN115558931B | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 徐俊;陈志钊;马文珍 | 申请（专利权）人： | 广东华智芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/34 | 分类号： | C23F1/34;C23F1/18;H01L21/3213 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴燕琳 |
| 地址： | 528225 广东省佛山市南海区狮山镇华沙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种铜表面晶花的细化方法，包括如下步骤：将铜材表面依次采用第一腐蚀液和第二腐蚀液进行两次腐蚀；所述第一腐蚀液包括氨水和双氧水；所述第二腐蚀液包括硫酸和过硫酸钠。上述方法可实现减小铜晶花尺寸、使粗大形状的铜晶花细化的效果，明显增强铜晶花的形状的成像与点胶或焊线加工形成图像效果区别，进行铜表面晶花细化处理后的铜材在后续进行点胶和焊线等加工后，通过自动化设备可清晰识别与区分成像图形中的胶水或焊料区域以及铜表面区域，可准确检测判断出产品的加工效果。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 细化 方法 腐蚀 组合 及其 应用 | ||
【主权项】：
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