[发明专利]具有输出蒸汽压的时间稳定性的升华单元在审
| 申请号： | 202211320360.0 | 申请日： | 2018-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN115595536A | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | G·麦格劳;E·范登蒂洛阿特;W·E·奎因;S·佩凯尔德;马修·金 | 申请（专利权）人： | 环球展览公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H10K71/00;H10K71/16;H10K50/10;B01D7/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 沈鹏 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及具有输出蒸气压的时间稳定性的升华单元。本发明提供针对升华单元的设计和布置，所述升华单元富含具有有机蒸气的惰性运载气体，使得所述有机蒸气的分压在时间上高度稳定。稳定性可通过经由一或多个坩埚控制沿固‑气界面的局部蒸发速率来实现，进而减小由于资源耗尽而产生的较大顶部空间和降低的界面区域的影响。局部蒸发速率还可以使用温度分布或对流流动场来控制。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 输出 蒸汽 时间 稳定性 升华 单元 | ||
【主权项】：
暂无信息
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