[发明专利]一种基板搬送系统在审
| 申请号： | 202211320752.7 | 申请日： | 2022-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN115593835A | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 曹铉根;马彪 | 申请（专利权）人： | 南京华易泰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G1/04 | 分类号： | B65G1/04;B65G49/06 |
| 代理公司： | 深圳市广诺专利代理事务所(普通合伙) 44611 | 代理人： | 刘娜 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市江北新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及运输系统技术领域，尤其为一种基板搬送系统，包括第一空间和第二空间，所述第一空间和第二空间为上下布置，所述第一空间的内部设置有第一组立体仓储，所述第二空间设置有卡匣，所述第一组立体仓储垂直对应的位置设置有第二组立体仓储，所述第一组立体仓储与第二组立体仓储垂直连接有进给装置；本发明能够混合使用每片方式和卡匣方式对基板移送，同时采用每片方式和卡匣方式并行进给基板，从而减少工艺装备的等待时间，进一步提高生产效率，该系统可随着产量的增大，无需卡匣或基板的等待时间而直接投入到工艺装备中，从而增大生产效率，解决了目前的移送方式存在缺陷，采用的方式过于单一，效率低下的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基板搬送 系统 | ||
【主权项】：
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