[发明专利]一种高性能铜镍硅铬合金板材及其加工方法和应用

摘要

本发明公开了一种高性能铜镍硅铬合金板材及其加工方法和应用，高性能铜镍硅锡铬合金板材包括以下重量百分含量的原料：镍2.2‑3.0%，硅0.3‑1.2%，铬0.3‑1.5%，铁0.02‑0.1%，磷0.005‑0.01%，余量为铜和少量杂质，通过熔炼铸造、固溶热加工、时效热处理、铣面矫直和切板加工而成。本发明通过研究合金热轧和固溶时效过程中组织状态的变化规律，严格控制固溶热加工过程中的热加工和淬火工艺，有效控制铜镍硅铬合金靶材的晶粒尺寸和晶粒取向，为CuNiSi合金加工过程中组织‑性能‑表面质量一体化控制奠定基础，满足高端集成电路中用溅射靶材对高性能铜合金背板材料的使用要求。