[发明专利]用于探测碳酸二乙酯气体的红外滤光片及其制备方法在审
申请号: | 202211323386.0 | 申请日: | 2022-10-27 |
公开(公告)号: | CN115469390A | 公开(公告)日: | 2022-12-13 |
发明(设计)人: | 张杰;何虎;许晴;于海洋;张敏敏;王爽 | 申请(专利权)人: | 上海翼捷工业安全设备股份有限公司 |
主分类号: | G02B5/20 | 分类号: | G02B5/20;G02B5/28;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/26;C23C14/54;G01N21/3518;G01N21/35 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 王洁 |
地址: | 201114 上海市闵*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于探测碳酸二乙酯气体的红外滤光片,包括基底、主膜系结构和截止膜系结构,所述的主膜系结构和截止膜系结构分别设置于所述的基底的两侧;所述的主膜系结构为:Si/0.11L1.23H1.07H0.98H0.98L2.00H 0.99L0.98H1.02L1.09H1.01L0.99H0.98L1.99H0.99L0.83H0.44L/Air;所述的截止膜系结构为:Si/0.26L 0.32(0.5HL0.5H)^60.48(0.5HL0.5H)^6 0.70(0.5HL0.5H)^6 1.35(0.5LH0.5L)^5 1.7(0.5LH0.5L)^5/Air,设计波长为7900nm。本发明还提供了相应的制备方法和红外气体传感器。 | ||
搜索关键词: | 用于 探测 碳酸 二乙酯 气体 红外 滤光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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