[发明专利]紫外发光二极管曝光装置及系统在审
| 申请号： | 202211332385.2 | 申请日： | 2022-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN115469515A | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 罗先刚;赵承伟;龚天诚;贾桂园;王长涛;王彦钦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 肖慧 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本公开提供一种紫外发光二极管曝光装置及系统，涉及曝光处理技术领域，装置包括：紫外发光二极管光源，包括阵列贴片式的紫外发光二极管灯珠，紫外发光二极管灯珠用于发射紫外光束；准直镜组，用于对紫外光束进行收光准直；复眼镜组，用于对收光准直后的紫外光束进行匀光；聚光镜组，用于对匀光后的紫外光束进行聚光；曝光面，用于利用聚光后的紫外光束进行曝光的工作面；控制模块，用于通过高频开关模式，独立控制每个紫外发光二极管灯珠的开关。该紫外发光二极管曝光装置及系统有效地提高了光源输出功率的稳定性及能量的利用率，减少了发热和提高散热效果，实现了紫外光束的高效准直，并且，满足设备框架和其他部件空间限制要求。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 发光二极管 曝光 装置 系统 | ||
【主权项】：
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