[发明专利]一种正交布置的多质量MEMS陀螺

摘要

本发明提供了一种正交布置的多质量MEMS陀螺，包括锚点单元、传感单元以及驱动单元；锚点单元包括位于一矩形中心的中心锚点子单元和四个分别位于矩形四角的角部锚点；传感单元包括四个呈框架结构且分别弹性连接于中心锚点子单元和各角部锚点之间并相互形成让位空间的检测质量块，以及四个分别位于各检测质量块内部的检测解耦件；驱动单元包括四个分别位于各让位空间内的驱动质量块，以及分别弹性连接于各驱动质量块的驱动解耦件。本发明的陀螺能够提高换能器的布置面积，并减小检测质量块的质量以提高哥式增益，从而提高陀螺仪的机械灵敏度。