[发明专利]探针冷却系统、冷却方法及具备该系统的电子组件测试设备在审
| 申请号： | 202211337113.1 | 申请日： | 2022-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN116068368A | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 曾一士;吴信毅;蔡译庆;欧阳勤一 | 申请（专利权）人： | 致茂电子（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 | 代理人： | 刘卓然 |
| 地址： | 215129 江苏省苏州市苏州高*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种探针冷却系统、冷却方法及具备该系统的电子组件测试设备，主要利用冷却流体供应模块来实现探针的冷却。当芯片插槽容纳电子组件时，冷却流体供应模块通过冷却流体供给通道与槽入口供应冷却流体至芯片插槽内，而冷却流体流经探针后通过槽出口回流至冷却流体排出通道。换言之，本发明利用冷却流体对芯片插槽内探针进行冷却，同时也将冷却电子组件的底面及锡球接点，以避免锡球因高温软化或甚至熔融来污染探针和芯片插槽。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 冷却系统 冷却 方法 具备 系统 电子 组件 测试 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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