[发明专利]半导体装置和包括该半导体装置的电子系统在审
申请号: | 202211339831.2 | 申请日: | 2022-10-27 |
公开(公告)号: | CN116056460A | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | 李根;尹基炫;李正吉;韩赫 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H10B41/35 | 分类号: | H10B41/35;H10B41/27;H10B43/35;H10B43/27;H01L29/423 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 赵南;肖学蕊 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供了一种电极结构、半导体装置和电子系统。电极结构包括:导电电极,该导电电极包括第一表面;绝缘层,其位于导电电极上,绝缘层与导电电极的第一表面接触;以及纳米点图案,其位于导电电极中并且与导电电极的第一表面间隔开,纳米点图案包括与导电电极的第一表面平行排列的纳米点,并且纳米点中的每个纳米点包括第一侧表面和第二侧表面,第一侧表面与导电电极的第一表面相邻,第一侧表面是平坦的并且与导电电极的第一表面平行,第二侧表面与第一侧表面相对,第二侧表面在远离导电电极的第一表面的方向上凸起。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 包括 电子 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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