[发明专利]一种利用热探针对二维过渡金属硫属化物/丝素蛋白柔性衬底进行微纳结构加工的方法有效
| 申请号： | 202211351298.1 | 申请日： | 2022-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN115676773B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 李洋;王瑞;常顺宇;耿延泉;赵守鑫;邵文柱;甄良;徐成彦 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江联合专利商标代理有限公司 23213 | 代理人： | 侯静 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种利用热探针对二维过渡金属硫属化物/丝素蛋白柔性衬底进行微纳结构加工的方法，涉及一种对丝素蛋白柔性衬底进行微纳结构加工的方法。本发明是要解决现有的微纳加工技术加工精度低、制造工艺复杂和可加工材料受限的技术问题。本发明选用可加热的原子力探针作为加工工具，制备二维过渡金属硫属化物/丝素蛋白异质结构，按照设定的加工轨迹和加工尺寸在二维过渡金属硫属化物/丝素蛋白柔性衬底进行可控尺寸加工，制备微纳结构。利用热探针刻划加工的微纳米制造方法是一种具有加工方法简单、易于操作、加工环境需求低、可加工材料广泛、可实现纳米级加工精度等优势的微纳米制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 探针 二维 过渡 金属 硫属化物 丝素 蛋白 柔性 衬底 进行 结构 加工 方法 | ||
【主权项】：
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