[发明专利]一种谐振器及声学滤波器在审
| 申请号： | 202211352947.X | 申请日： | 2022-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN115865036A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 请求不公布姓名 | 申请（专利权）人： | 上海馨欧集成微电有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/13;H03H9/02;H03H9/56 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 方秀琴 |
| 地址： | 201807 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供一种谐振器及声学滤波器，谐振器包括异质衬底和设置在异质衬底上的电极组件。异质衬底包括小声速散射角、各向异性的支撑衬底和设置在支撑衬底上的压电薄膜，支撑衬底与压电薄膜之间形成异质界面。压电薄膜内的目标声波存在至少一个方向上的振动分量具有声速‑厚度波长比色散的特性。异质界面用于将压电薄膜内的目标声波能量反射回压电薄膜，并利用声波声速‑厚度波长比色散调控声波能量的渗透、散射分量占比等传播特点，减少能量的损耗途径。不仅可以减少厚度方向的泄露，还能减少多种边界辐射和倾斜辐射，从而获得高品质因子的声学滤波器，降低声学滤波器的带内损耗、增强带边陡直度和矩形度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 谐振器 声学 滤波器 | ||
【主权项】：
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