[发明专利]一种高温气悬浮旋转机构在审
| 申请号： | 202211353247.2 | 申请日： | 2022-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN115537919A | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 文成;宋来金;牧青;郭锐涛;李宝 | 申请（专利权）人： | 江苏汉印机电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C23C16/455;C23C16/458;C30B25/14;C30B29/36 |
| 代理公司： | 盐城平易安通知识产权代理事务所(普通合伙) 32448 | 代理人： | 刘敏 |
| 地址： | 224000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高温气悬浮旋转机构，涉及碳化硅外延片均匀沉积领域，解决了现有通过气氛流动使托盘旋转进行气相沉积反应时，其稳定性差的问题，包括安装于水平外延炉内部的下型腔盖和上型腔盖，下型腔盖和上型腔盖相匹配，本发明通过弧面盘和弧爪引流盘以及气氛增压输入管输气的作用，可使弧面盘带着托盘向上浮动，而通过拽引件和同步件可保证弧面盘向上浮动的平稳性，在高温使限位件失去对转轴的限制，其转轴在弧形弹簧的作用下，可迅速转动，为弧面盘和托盘的转动提供初速度，同时通过弧爪引流盘对气氛流动的引导，可实现托盘进行稳定的悬浮旋转，保证碳化硅晶片能均匀稳定的进行气相沉积，生长外延晶体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高温 悬浮 旋转 机构 | ||
【主权项】：
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