[发明专利]一种高矫顽力软硬磁复合铁氧体薄膜材料及其制备方法

摘要

一种高矫顽力高剩磁比复合铁氧体薄膜材料的制备方法，包括以下步骤：(1)制备BaFe9Al3O19铁氧体靶材；(2)用脉冲激光沉积法在Al2O3(000l)基片上沉积非晶态BaFe9Al3O19铁氧体薄膜；(3)将上述生长的非晶态BaFe9Al3O19铁氧体薄膜放置马弗炉中进行退火，促使形成BaFe2O4和BaFe9Al3O19复合铁氧体薄膜。本发明通过固相法进行Al离子掺杂制备致密性良好的六角铁氧体靶材，并选用脉冲激光沉积技术沉积薄膜，通过控制薄膜的生长条件，实现BaFe2O4和BaFe9Al3O19复合的薄膜，充分发挥软硬磁复合的特点，提高了铁氧体薄膜的磁性能，最终制备出c轴面外取向且具有高矫顽力特征的复合铁氧体薄膜材料。其特征在于，矫顽力大于1.83T，剩磁比达到93％，在自偏置微波器件和磁记录领域具有良好的应用前景。