[发明专利]从含有氯硅烷的渣浆中分离硅粉的方法、系统及其用途在审
| 申请号： | 202211370069.4 | 申请日： | 2022-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN115557507A | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 周复礼;田新;蒋文武;李明峰;王海豹;赵春梅 | 申请（专利权）人： | 江苏鑫华半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;C01B33/037 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 季永杰 |
| 地址： | 221004 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了从含有氯硅烷的渣浆中分离硅粉的方法、系统及其用途。该方法包括：对含有氯硅烷的渣浆进行静置分层处理，得到固相浆料和上清液；对固相浆料进行破碎处理，得到浆料颗粒；利用流化干燥装置对浆料颗粒进行加热处理，以便得到干燥硅粉和氯硅烷气体，流化干燥装置包括外筒体和穿设在外筒体中的内筒体，外筒体与内筒体之间形成有环形腔，内筒体的筒壁上设有微孔，微孔孔径不大于0.5μm；将浆料颗粒供给至内筒体中，向内筒体中通入流化热风，氯硅烷挥发。该方法不仅分离效果好、效率高，能实现氯硅烷和硅粉的有效分离，而且氯硅烷和硅粉的收率也较高，且杂质含量少、纯度高，能实现连续生产，大大提升了对渣浆的处理能力。 | ||
| 搜索关键词： | 含有 硅烷 渣浆中 分离 方法 系统 及其 用途 | ||
【主权项】：
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