[发明专利]一种FET加热的插指气敏传感器及其加工方法在审
| 申请号： | 202211372269.3 | 申请日： | 2022-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN115774043A | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 任青颖;柳俊文;史晓晶;李卫;胡引引 | 申请（专利权）人： | 南京元感微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 211100 江苏省南京市江宁*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及传感器技术领域，公开一种FET加热的插指气敏传感器及其加工方法。其中FET加热的插指气敏传感器包括：衬底，其上设有隔热腔室，隔热腔室内设有硅岛，硅岛与衬底间隔设置；绝缘层，设置在硅岛和衬底的同一侧；FET加热组件，包括源极、栅极及漏极，源极和漏极间隔形成在硅岛内，栅极位于源极和漏极之间，源极和漏极导通时能够产生热量；插指敏感电极，形成在绝缘层上；气敏层，覆盖在插指敏感电极上，气敏层的电阻率变化能够通过插指敏感电极输出。本发明公开的FET加热的插指气敏传感器，结构简单，易于加工，具有加热均匀、功耗低及寿命长的特点，利于FET加热的插指气敏传感器的小型化和集成化设计。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 fet 加热 插指气敏 传感器 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
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