[发明专利]一种硅片表面的倒金字塔绒面结构的制备方法

摘要

本发明属于太阳能电池技术领域，公开了一种硅片表面的倒金字塔绒面结构的制备方法。该方法包括以下步骤：先后用丙酮、乙醇、去离子水清洗硅片备用；将清洗后的硅片放入氢氟酸和氧化剂混合液或强碱中去除氧化硅层与非晶硅层；将硅片浸泡于含有氧化剂、刻蚀剂、金属离子的刻蚀液中，通过光照诱导制备得到刻蚀后的硅片；将刻蚀后的硅片浸泡在金属消除剂中去除表面金属粒子。该方法使用光照诱导纳米金属颗粒催化化学刻蚀制备硅表面倒金字塔结构，物理光照结合湿法化学刻蚀，可高效制备晶硅倒金字塔结构，并且通过光照诱导MCCE制绒，利用光生电子的捕获及光电子的分布，控制刻蚀均匀性发生及加快刻蚀速率，提高制绒效率与绒面质量。