[发明专利]加热测温一体无磁电加热片加工方法、电加热片及系统在审
| 申请号： | 202211386485.3 | 申请日： | 2022-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN116056263A | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 秦杰;刘栋苏;万双爱;谢耀;刘建丰 | 申请（专利权）人： | 北京自动化控制设备研究所 |
| 主分类号： | H05B3/00 | 分类号： | H05B3/00;H05B3/34;H05B3/06;H05B3/16;G01K1/14;G01K7/18;G01K7/20;G01C19/60 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100074 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种加热测温一体无磁电加热片加工方法、电加热片及系统，包括：在柔性衬底的第一表面沉积第一加热金属层，在柔性衬底的第二表面沉积第二加热金属层；分别对第一加热金属层进行刻蚀以形成第一加热电阻层以及对第二加热金属层进行刻蚀以形成第二加热电阻层，第一加热电阻层和第二加热电阻层的通电电流相反；在柔性衬底的第一表面沉积测温金属层；对测温金属层进行刻蚀以形成测温电阻层，第一加热电阻层位于测温电阻层的周缘；在测温电阻层和第一加热电阻层上旋涂第一绝缘层，在第二加热电阻层上旋涂第二绝缘层。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中安装额外的温度传感器会影响气室通光路径以及干扰光学元件的安装的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 测温 一体 磁电 加工 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京自动化控制设备研究所，未经北京自动化控制设备研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211386485.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
