[发明专利]一种AZO透明导电薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202211391167.6 | 申请日： | 2022-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN115583803A | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 吴海忠;杨晔 | 申请（专利权）人： | 宁波海燕新材料有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/36 | 分类号： | C03C17/36;C03B27/012 |
| 代理公司： | 上海剑秋知识产权代理有限公司 31382 | 代理人： | 应风晔;徐浩俊 |
| 地址： | 315806 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种AZO透明导电薄膜及其制备方法，该AZO透明导电薄膜包括基片以及在基片上通过磁控溅射依次而得的Na离子阻挡层、Zn层、AZO层、氧阻挡层、减反层，随后，在600‑700℃下高温钢化处理，最终获得方阻低于20Ω，透过高于70％的AZO透明导电薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 azo 透明 导电 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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