[发明专利]一种适用于太阳能硅片的涂膜设备在审
| 申请号： | 202211394599.2 | 申请日： | 2022-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN115780173A | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 张恒;丁中山;王锦山 | 申请（专利权）人： | 上海德沪涂膜设备有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;H01L31/18;H10K39/10;H01L21/67;B05C13/02 |
| 代理公司： | 上海天翔知识产权代理有限公司 31224 | 代理人： | 刘常宝 |
| 地址： | 201806 上海市嘉*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种适用于太阳能硅片的涂膜设备，其包括至少一个硅片载台、至少一个掩膜载台、基础平台以及至少一个调平定位组件；掩膜载台固设在基础平台上，并形成硅片涂布工作区域；硅片载台通过调平定位组件可调节的安置在基础平台上，并位于所述掩膜载台形成的硅片涂布工作区域内；调平定位组件能够调节硅片载台的水平状态以及相对于所述掩膜载台的高度。本发明提供的涂膜设备方案能够针对每个待涂膜硅片，根据其厚度进行调平与定位，使得每个待涂膜硅片表面的高度和周围掩膜一致，从而能够实现使用狭缝涂膜方式对硅片进行涂膜，大大提高效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 太阳能 硅片 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海德沪涂膜设备有限公司，未经上海德沪涂膜设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211394599.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
