[发明专利]一种基于连续域中束缚态机制的非线性光波导的制备方法在审
| 申请号： | 202211397516.5 | 申请日： | 2022-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN115508949A | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 陈琛;韩张华 | 申请（专利权）人： | 山东师范大学 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;G02B6/134;G02B6/122;G03F7/20;G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京东方盛凡知识产权代理有限公司 11562 | 代理人： | 陈月霞 |
| 地址： | 250358 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于连续域中束缚态机制的非线性光波导的制备方法，包括：对非线性晶体进行预处理，并对处理后的非线性晶体进行离子注入；将经过离子注入后的非线性晶体旋涂光刻胶，并进行电子束曝光和后续加热处理，将加热处理后的非线性晶体进行显影操作，得到高分子聚合物和非线性晶体混合型光波导。本发明展示的制备方法无需直接改变非线性晶体波导层的几何形貌，因而避免了刻蚀非线性晶体的困难与挑战，以及机械加工非线性晶体制备波导结构单一的缺点,并且可制备的波导结构多样，适用于制备直线形、曲线形、环形波导、波导阵列等多种结构类型，以及上述几种类型波导的组合，乃至集成化波导光路的实现，应用前景广阔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 连续 域中 束缚态 机制 非线性 波导 制备 方法 | ||
【主权项】：
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