[发明专利]一种靶材托及镀膜设备在审
| 申请号： | 202211401178.8 | 申请日： | 2022-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN115747738A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 鞠晶;张莉;马玉国;刘晓斌;宋岚;张科阳;李涛;张谷一 | 申请（专利权）人： | 北京大学;常州隆斯克普电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京清诚知识产权代理有限公司 11691 | 代理人： | 何怀燕;李博 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种靶材托及镀膜设备，涉及镀膜技术领域，所述靶材托包括：可旋转的靶材托本体，所述靶材托本体的第一表面上沿圆周分布有多个安装位，所述安装位包括：一个盲板位和多个安装靶材的靶材位。在镀膜起始阶段，旋转靶材托本体，使工作气体对准盲板位，由于盲板位的材料不能被离子溅射，因此，不会出现溅射束流，避免不稳定溅射束流对镀膜效果的影响，提升镀膜精细度。在更换镀膜材料时，旋转靶材托本体，使工作气体对准对应的靶材位即可，免去对镀膜头的拆装，操作简单省时。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 靶材托 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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