[发明专利]一种非理想椭偏系统的校准方法在审
| 申请号： | 202211401201.3 | 申请日： | 2022-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN115752265A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 石雅婷;刘亚鼎;郭春付;李伟奇;张传维;何勇;薛小汝 | 申请（专利权）人： | 武汉颐光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 范三霞 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种非理想椭偏系统的校准方法，包括：获取标准样件在测量系统的实测光强信息并进行归一化，得到标准样件的实测归一化光强信息；根据标准样件的实测归一化光强信息和理论归一化光强信息，拟合迭代出测量系统的系统参数；获取待测样件的实测光强信息并进行归一化，得到待测样件的实测归一化光强信息；根据拟合迭代出的所述测量系统的系统参数，基于待测样件的实测归一化光强信息和理论归一化光强信息，拟合迭代出待测样件参数。本发明在求解系统参数时，在系统参数中新增三角函数的拟合参数，当波片存在倾斜时，依旧可以进行高精度逐波长校准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 理想 系统 校准 方法 | ||
【主权项】：
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