[发明专利]研磨装置和研磨方法在审
| 申请号： | 202211406296.8 | 申请日： | 2022-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN115635413A | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 刘传涛;崔慧成 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/34;B24B49/12 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 严罗一;臧建明 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开提供一种研磨装置和研磨方法，研磨装置包括研磨基座、光发射器和光感应器，研磨基座具有研磨面，研磨面用于研磨待研磨件，待研磨件具有针尖；光发射器的发射端和光感应器的感应端均位于研磨面的所在平面，光发射器发出的光线贴合研磨面并朝向光感应器；针尖的端面抵接研磨面，并遮挡光线向光感应器发射，形成研磨装置的研磨状态。研磨装置可以对针尖的端面进行研磨，以使针尖的端面形成平面，研磨后的针尖可以再次用于制备针尖状的待测样品，从而降低了待测样品的制备成本。因此，本公开提供的研磨装置和研磨方法，采用研磨装置研磨后的针尖可以再次用于制备针尖状的待测样品，从而提高了针尖载台的利用率，降低了待测样品的制备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 方法 | ||
【主权项】：
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