[发明专利]一种离子枪的保护开关在审
| 申请号： | 202211406971.7 | 申请日： | 2022-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN115662864A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 欧阳华;欧阳晟;曹锋;陈炀 | 申请（专利权）人： | 广州晶优电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/147;H01J37/20;H01L21/67 |
| 代理公司： | 广州润禾知识产权代理事务所(普通合伙) 44446 | 代理人： | 郑永泉 |
| 地址： | 510663 广东省广州市高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种离子枪的保护开关，涉及刻蚀设备领域。沿发射口外侧设有导流板和底板，导流板中部设有若干分流通道，设有对应分流通道的反应开关，导流板和底板包饶于发射口的外侧，用于实现对发射口上离子波的集中发射。本发明进一步增加了反应开关，由于反应开关是对应在发射通道上的，即对于每个或每组发射通道的离子光源的轰击时间要素是可以进一步被编辑控制的，使得同一刻蚀腔室内进行的刻蚀反应是可以同时兼容不同的反应时间段，提高了设备的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 保护 开关 | ||
【主权项】：
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