[发明专利]一种红外长波高反膜、制备方法和应用在审

专利信息
申请号: 202211407071.4 申请日: 2022-11-10
公开(公告)号: CN115903110A 公开(公告)日: 2023-04-04
发明(设计)人: 戴辉;尹士平;刘克武;郭晨光;王奎 申请(专利权)人: 安徽光智科技有限公司
主分类号: G02B5/20 分类号: G02B5/20;G02B5/28;C23C14/06;C23C14/18;C23C14/26;C23C14/30;C23C14/58
代理公司: 滁州创科维知识产权代理事务所(普通合伙) 34167 代理人: 史芳
地址: 239000 安徽省*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种红外长波高反膜、制备方法和应用,涉及红外光学薄膜技术领域,所述高反膜的膜系结构依次为:基底/金/硫化锌/锗/硫化锌/锗/空气,其膜系结构具体厚度为:基底/金为170~190nm/硫化锌为1155~1195nm/锗为642~682nm/硫化锌为1178~1218nm/锗为642~682nm/空气。本发明采用金膜加介质膜的堆叠,能够在红外8~12μm波段实现更高的反射率,平均反射率大于99.7%,且本发明膜系结构总厚度小于4μm,厚度更薄,降低了膜层应力,能够避免纯介质膜层过厚引起的脱膜风险,本发明在降低膜层厚度的同时兼顾膜层的高反射率。
搜索关键词: 一种 红外 长波 高反膜 制备 方法 应用
【主权项】:
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