[发明专利]用于激光加工头的偏转设备以及用于加工工件的激光加工头

摘要

一种用于激光加工头(100)的偏转设备(14)，所述偏转设备用于偏转加工激光射束(15)以用于加工工件(13)，其中，所述偏转设备(14)包括：至少一个镜元件(10)，所述至少一个镜元件是可变形的和/或可运动的，以便使所述加工激光射束(15)定向至所述工件(13)上的不同位置，其中，所述镜元件(10)包括至少一个衬底(4)和布置在所述衬底(4)上的至少一个反射性多层结构(3)，具有在第一值范围内的第一折射率的多个晶状的第一层(1)和具有在第二值范围内的第二折射率的多个晶状的第二层(2)交替地彼此上下地布置在所述多层结构中，其中，所述晶状的第一层(1)的第一折射率和所述晶状的第二层(2)的第二折射率彼此不同。