[发明专利]半导体器件及其制备方法在审
申请号: | 202211440588.3 | 申请日: | 2022-11-17 |
公开(公告)号: | CN115915754A | 公开(公告)日: | 2023-04-04 |
发明(设计)人: | 邵光速 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | H10B12/00 | 分类号: | H10B12/00 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 高天华;浦彩华 |
地址: | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本公开实施例提供了一种半导体器件及其制备方法,所述半导体器件包括:第一半导体柱,包括沿竖直方向由下至上依次设置的第一源极区、第一沟道区和第一漏极区,所述第一源极区与第一位线连接,所述第一沟道区与第一字线耦接;第二半导体柱,与所述第一半导体柱沿第一方向并列排布,所述第二半导体柱包括沿第二方向依次设置的第二源极区、第二沟道区和第二漏极区,所述第一方向和所述第二方向相交且均垂直于所述竖直方向;所述第二源极区与第二位线连接,所述第二漏极区与第二字线连接;存储线,沿第一方向延伸,所述存储线连接所述第一漏极区的顶部且与所述第二沟道区耦接。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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