[发明专利]改进的镍铬铝薄膜电阻器在审
申请号: | 202211453667.8 | 申请日: | 2022-11-21 |
公开(公告)号: | CN116190355A | 公开(公告)日: | 2023-05-30 |
发明(设计)人: | G·M·鲍尔;K-A·沙赫特施奈德 | 申请(专利权)人: | 德克萨斯仪器股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/64 | 分类号: | H01L23/64;H01C7/00;H01C17/00 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 徐东升 |
地址: | 美国德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本申请题为“改进的镍铬铝薄膜电阻器”。一种集成电路(200)包括形成在电介质层(102,218A)上方的薄膜电阻器主体(104,226)。界面层(106)形成在薄膜电阻器主体上并且电阻器头(108,228)形成在界面层上。薄膜电阻器主体(104,226)包括镍铬铝(NiCrAl)并且电阻器头(108,228)包括钛钨(TiW)。 | ||
搜索关键词: | 改进 镍铬铝 薄膜 电阻器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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