[发明专利]超高衍射效率光栅在审
| 申请号： | 202211458055.8 | 申请日： | 2022-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN115933032A | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 陈泳屹;王野;邱橙;雷宇鑫;贾鹏;宋悦;梁磊;王玉冰;曾玉刚;秦莉;王立军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 郭婷 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种超高衍射效率光栅，光栅层设置于基底层上，在光栅层内设置有光栅；填充层采用填充材料将光栅层的镂空填平，并在光栅层的表面形成表面平整的填充层，填充层的引入，解决了制备光栅层之后的表面平整问题；增透层设置于填充层上，用于提高衍射效率。本发明采用填充材料将光栅层的镂空填平，并在填充层上方通过制备增透层增加透射率，解决了光栅层的表面平整问题并有效保证了超高衍射效率光栅的高效应用；相比飞秒激光直写的加工技术，本发明的制备过程中，光栅制备、填平、镀膜等工艺可以通过现有半导体工艺进行大面积制备，本发明具备制备速度快、制备面积大等优点，提高了生产效率，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 超高 衍射 效率 光栅 | ||
【主权项】：
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