[发明专利]一种用于保护静电吸盘缝隙的氟橡胶极细密封件有效
| 申请号： | 202211472179.1 | 申请日： | 2022-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN115873359B | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 高洁;张玉龙;李宏;谢昌杰 | 申请（专利权）人： | 上海芯密科技有限公司 |
| 主分类号： | C08L27/18 | 分类号： | C08L27/18;C08K7/26;C08K3/04;H01L21/683 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200120 上海市浦东新区中国(上海)自*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明涉及半导体材料技术领域，尤其涉及IPC C08L29领域，更具体地，涉及一种用于保护静电吸盘缝隙的氟橡胶极细密封件。本发明制备得到的氟橡胶极细密封件，其横截面积≤0.2mm |
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| 搜索关键词： | 一种 用于 保护 静电 吸盘 缝隙 氟橡胶 细密 | ||
【主权项】：
暂无信息
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