[发明专利]一种基于光子光电子片上集成的超窄带光电探测器阵列在审
| 申请号： | 202211474278.3 | 申请日： | 2022-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN115835662A | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 陈怡沐;宋清海;肖淑敏;李言浩;蒋雄 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学（深圳） |
| 主分类号： | H10K30/87 | 分类号： | H10K30/87;H10K39/32 |
| 代理公司： | 深圳市添源创鑫知识产权代理有限公司 44855 | 代理人： | 周椿 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及光电探测器领域，特别涉及一种基于光子光电子片上集成的超窄带光电探测器阵列。其包括钙钛矿型光电探测器、衬底、电子束曝光胶，钙钛矿型光电探测器覆盖在衬底的部分区域，整个衬底上沉积一层电子束曝光胶，电子束曝光胶覆盖钙钛矿光电探测器和暴露的衬底区域，通过电子束在靠近钙钛矿型光电探测器边缘的衬底暴露区域中曝光生成光学光栅。本超窄带光电探测器阵列尺寸小，探测波长半峰宽窄，工艺简单、功耗低、效率高；可探测波段多，易于集成；采用新型窄带探测机理，且器件性能优异。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光子 光电子 集成 窄带 光电 探测器 阵列 | ||
【主权项】：
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