[发明专利]一种化学机械抛光机用抛光头装置

摘要

本发明公开了一种化学机械抛光机用抛光头装置，包括固定部和抛光头，固定部包括相互固定连接的连接轴和外壳罩，外壳罩设有下开口腔，下开口腔内设有环状气囊，抛光头与外壳罩为可拆卸连接，抛光头轴向浮动设置于下开口腔内，抛光头包括抛光头本体和弹性金属贴附板，弹性金属贴附板的四周与抛光头本体的下表面密封固定连接，弹性金属贴附板与抛光头本体间构成压力可变腔，抛光头本体设有与压力可变腔连通的气路通道，固定部设有气路接头，气路接头通过连接管与气路通道连接，弹性金属贴附板随压力可变腔内压力变化在上凹至下凸状态之间变化，环状气囊用于向抛光头本体施加下压力。本发明简化气路结构可实现快速拆换适应不同尺寸晶圆的抛光加工。