[发明专利]一种压电驱动的水平谐振式微型电场传感器及其工作方法有效
| 申请号： | 202211481799.1 | 申请日： | 2022-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN115524544B | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 刘明;金靓;白雪;胡天翼;沈律康 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12;G01R1/04;G01R1/18 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 张宇鸽 |
| 地址： | 710048 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及电场传感器领域，具体公开了一种压电驱动的水平谐振式微型电场传感器及其工作方法，感应电极固定设置；屏蔽电极平行设置于感应电极的一侧；屏蔽电极的两侧均设有压电驱动结构；压电驱动结构包括支撑梁、第一压电驱动梁和第二压电驱动梁，支撑梁固定设置于屏蔽电极的一侧，第一压电驱动梁和第二压电驱动梁对称分布于支撑梁两侧，第一压电驱动梁的一端与支撑梁连接，第一压电驱动梁的另一端与屏蔽电极连接，第二压电驱动梁的一端与支撑梁连接，第二压电驱动梁的另一端与屏蔽电极连接。本发明传感器的驱动方式为压电驱动，工作模式为水平谐振模式，解决了现有技术中压电驱动方式无法用于水平谐振式电场传感器的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 驱动 水平 谐振 式微 电场 传感器 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
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