[发明专利]一种用于光刻胶的改性有机颜料纳米晶体的制备装置在审
| 申请号： | 202211487968.2 | 申请日： | 2022-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN115845762A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 陈劲风;林沫 | 申请（专利权）人： | 江苏先科半导体新材料有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/00 | 分类号： | B01J19/00;B82Y40/00;B82Y30/00;G03F7/004 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 向文 |
| 地址： | 214200 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于光刻胶的改性有机颜料纳米晶体的制备装置，包括输送管路、循环槽、产品槽、第一高压泵、第三高压泵、CO2管路和连续合成装置，连续合成装置包括N个回收罐和背圧阀，背圧阀分别连接着N个回收罐，每个回收罐内均设置有可平滑移动的活塞，输送管路上设置有第一加热装置，输送管路通过第一高压泵与循环槽连通，第一高压泵用于将循环槽内的有机颜料和良溶剂的溶液泵入输送管路，CO2管路分别连接着N个回收罐内的下部区域，回收罐内注入有用于控制压力平衡的超纯水。本发明不但能够实现连续稳定的有机颜料纳米粒子的合成，实现了有机颜料纳米晶体的量产，而且具有纳米晶体尺寸可控，高分散性，低成本，效果稳定，再现性好等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 改性 有机颜料 纳米 晶体 制备 装置 | ||
【主权项】：
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