[发明专利]一种用于光刻胶的改性有机颜料纳米晶体的制备方法及其应用在审
申请号: | 202211487969.7 | 申请日: | 2022-11-25 |
公开(公告)号: | CN115850996A | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 陈劲风;林沫 | 申请(专利权)人: | 江苏先科半导体新材料有限公司 |
主分类号: | C09B67/20 | 分类号: | C09B67/20;C09B67/02;C09B67/54;C09B67/00;C09B67/10;C09B67/12;G03F7/004 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 向文 |
地址: | 214200 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于光刻胶的改性有机颜料纳米晶体的制备方法,包括:将有机颜料在良溶剂中的溶解度进行调整;将有机颜料和良溶剂的溶液升温至有机颜料最大溶解度的亚临界状态;将含有所定修饰剂浓度的超临界CO2注入到回收罐与超纯水压力达到平衡;将升温后的有机颜料的亚临界流体注入到回收罐中;回收罐中有机颜料的亚临界流体与超临界CO2进行接触反应,析出有机颜料纳米晶体,通过修饰剂对有机颜料纳米晶体进行表面修饰;将分散液转移收集到产品槽当中。本发明不但能够实现连续稳定的有机颜料纳米粒子的合成,提升了纳米粒子的收率,实现了有机颜料纳米晶体的量产,而且具有纳米晶体尺寸可控,高分散性,低成本,效果稳定,再现性好等特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 光刻 改性 有机颜料 纳米 晶体 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】:
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