[发明专利]一种改善薄膜材料表面形貌的石墨舟及薄膜的生长方法在审
| 申请号： | 202211499166.3 | 申请日： | 2022-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN115874277A | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 黄晟;黄立;张冰洁;舒秀婷 | 申请（专利权）人： | 武汉高芯科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B19/06 | 分类号： | C30B19/06;C30B19/10;C30B29/48 |
| 代理公司： | 深圳峰诚志合知识产权代理有限公司 44525 | 代理人： | 张腾 |
| 地址： | 430205 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于薄膜材料的外延生长技术领域，具体涉及一种改善水平液相外延生长薄膜材料表面形貌的石墨舟及薄膜的生长方法，通过采用本发明提供的石墨舟以及外延薄膜的生长方法，能够消除水平液相外延制备薄膜材料过程中由于溶质对流以及汞压差异导致外延生长的薄膜材料出现宏观波纹缺陷，提高薄膜材料厚度以及组分的均匀性及平整度，改善探测器成像“鬼影”现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 薄膜 材料 表面 形貌 石墨 生长 方法 | ||
【主权项】：
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