[发明专利]一种硫化镉单晶片的抛光方法在审
申请号: | 202211507767.4 | 申请日: | 2022-11-24 |
公开(公告)号: | CN116038530A | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | 何雯瑾;陈建才;张丽霞;杨雪;种苏然;吴宇;李德香;李宗勤 | 申请(专利权)人: | 云南昆物新跃光电科技有限公司 |
主分类号: | B24B29/02 | 分类号: | B24B29/02;B24B1/00;B24B57/02 |
代理公司: | 北京艾纬铂知识产权代理有限公司 16101 | 代理人: | 张维佳 |
地址: | 650223 云南*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 本发明涉及一种硫化镉单晶片的抛光方法,属于光电材料技术领域。所述方法通过粗磨、粗抛、一次精抛和二次精抛四道工序,每道工序采用特定的抛光液,并配合抛光盘的转速、压强以及抛光液的滴速,利用抛光液的化学作用和磨盘的机械作用,实现了对硫化镉单晶片表面的精密平整化加工,能够有效避免二次缺陷,加工出完美硫化镉单晶片,经过所述方法加工的硫化镉单晶片的表面在放大100倍的显微镜下无划伤,弥补了硫化镉单晶片精密加工领域的空白。 | ||
搜索关键词: | 一种 硫化 晶片 抛光 方法 | ||
【主权项】:
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