[发明专利]复合阻氢涂层加工方法及复合阻氢涂层在审
| 申请号： | 202211509520.6 | 申请日： | 2022-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN116005108A | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 钱政羽;钱涛 | 申请（专利权）人： | 星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/32;C23C16/26;C23C16/52;C23C14/35;C23C14/54;C23C14/02;C23C14/16;C23C28/00;C23C14/58;C23C16/56;F17C3/12 |
| 代理公司： | 南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32297 | 代理人： | 顾祥安 |
| 地址： | 215122 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了复合阻氢涂层加工方法及复合阻氢涂层，其中加工方法得到的第三阻氢层不存在晶体材料的晶界缺陷，具有极佳的阻氢性能，其为表层能够极大地增加渗透表层的难度；第一、第二阻氢层采用闭合非平衡磁控溅射工艺加工，使得它们的晶粒尺寸更细小，涂层致密性高，能够使它们自身的阻氢性能极大改善；将三种阻氢层叠加在一起，使得氢原子渗透到不同层的渗透难度呈几何倍数的增加。采用相对较低的工艺温度，一来，使得第一、第二阻氢层的晶粒不会过渡增大从而获得晶粒小且密实的涂层，二来，可以保证第三阻氢层具有足够的硬度及避免温度过高容易使基材回火导致易变形进而使所述第一、第二、第三阻氢层受影响失效的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 涂层 加工 方法 | ||
【主权项】：
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