[发明专利]晶圆缺陷检测设备在审
| 申请号： | 202211510403.1 | 申请日： | 2022-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN115753822A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 黄奕嘉;林京亮 | 申请（专利权）人： | 錼创显示科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 张立垚;臧建明 |
| 地址： | 中国台湾新竹科学园*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆缺陷检测设备，适于检测包括两检测特征的待测样品。晶圆缺陷检测设备包括载台、光源模块及图像传感器。载台适于承载待测样品。光源模块用以输出检测光线至载台上的待测样品并反射此反射光线，检测光线包括第一光线及第二光线的频谱，第一光线与第二光线具有相异的两峰值波长，第一光线的频谱适于检测其中一检测特征，第二光线的频谱适于检测另一检测特征，第一光线的光强度与第二光线的光强度独立地控制，反射光线包含图像画面，且图像画面显示两检测特征。图像传感器设置于反射光线的路径上，并适于接收图像画面。本发明的晶圆缺陷检测设备可通过一次检测，即可得到具有高对比度的检测特征的图像画面，以具有高检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 设备 | ||
【主权项】：
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